檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "高熵合金薄膜".ckeyword (精準) and cadvisor.raw="王朝正"
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本研究分為兩個部分,第一部分以等原子比VNbMoTaW高熵合金靶材進行濺鍍,並於製程中控制不同氮氣通量,以製備不同氮含量之高熵合金薄膜;在第二部分使用Cr靶材與VNbMoTaW高熵合金靶共濺鍍,並改…
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本研究以VNbMoTaW高熵合金靶材分別跟Al靶材和CrB2合金靶材進行共濺鍍,並將薄膜進行300、500、800 度一小時高溫氧化測試,探討鋁或鉻、硼元素增加對VNbMoTaW高熵合金薄膜的影響。…